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顯微鏡
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上海光學儀器廠

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  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

SG-632M-彩

SG-632M芯片檢測顯微鏡

一、產品用途

SG-632M芯片檢測顯微鏡是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業需求而開發的。作為高級金相顯微鏡用戶在使用時能夠體驗其超強性能,可廣泛應用于半導體、

FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測,可觀察較厚的標

本。穩定、高品質的光學系統使成像更清晰,襯度更好。符合人機工程學要求的設計,使您在

工作中感到舒適和放松。

二、產品特點

1. UIS無限遠光學系統。

2. WF10×/Φ23mm超大視野目鏡、長工作距離明場金相物鏡。

3. 采用長壽命鹵素燈光源的,光效率更高。

4. 明場、偏光、微分干涉功能。(選購)

5. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。

6. 檢測顯微鏡配置了數碼攝影系統,各種放大倍率,并由計算機對圖像進行各種處理、編輯、保存和輸出(如打印等) 或進入多媒體系統及電子信箱。

三、技術規格

1. 光學系統無限遠校正光學系統

2. 觀察鏡筒30°鉸鏈式三目,瞳距50mm-75mm 

3. 平場目鏡:WF10×/23mm 

4. 無限遠長工作距離明場金相物鏡

放大倍數

數值孔徑

工作距離(mm)

PL L5×

0.10

25.00

PL L10×

0.25

11.00

PL L20×

0.40

8.00

PL L50×

0.75

1.90

PL L100X(干)

0.80

3.00

5. 轉換器:帶DIC插孔五孔轉換器

6. 雙層移動平臺尺寸 182mm×151mm移動范圍75mm×50mm 

7. 調焦機構:粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm 

8. 光源:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/50W, AC85V-230V,亮度可調節 

9. 偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 

10. 濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性) 

11. 適配鏡:直徑:59mm,放大倍率:0.5 ,內調焦距:03mm  調焦后可鎖緊

12. 顯微鏡工業相機:圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間: 0.244ms-2s;光譜響應范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數據接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調整

13. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴展;長度,角度,弧長測量;點,線,平行線,垂直測量;園、橢圓測量;矩形,不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數測量。

四、標準配置

1. 正置金相顯微鏡/1

2. 觀察目鏡筒/1

3. 平場目鏡WF10×/1

4. 長工作距離平場物鏡5×、10×、20×50×100×/1

5. 移動工作臺/1

6. 專用適配鏡0.5×/1

7. YH-630顯微鏡工業相機/1

8. 0.01mm校準尺/1

9. 12V50W鹵素燈泡/2

10. 插板式濾色片(綠、藍、中性)/1 

11. 產品合格證、保修卡及說明書/1

 


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